Mesure précise de l'épaisseur de film avec un spectromètre à fibre optique de type croisé F/4
Spécifications clés
| Gamme spectrale |
200nm - 1100nm |
| Pixels effectifs |
1024*122 |
| Efficacité quantique |
QE92%peak@650nm, 83%@232nm |
| SNR |
1000:1 |
Spectromètre haute performance pour la mesure de précision de l'épaisseur de film
Essentiel pour les applications dans les secteurs des semi-conducteurs, des panneaux photovoltaïques et des technologies d'affichage, notre spectromètre fournit des mesures non destructives et à grande vitesse de l'épaisseur de film. Combinant une instrumentation optique avancée avec des algorithmes d'IA, ce système optimise les processus de production de films tout en assurant un contrôle qualité supérieur.
Paramètres techniques détaillés
| Spécifications du détecteur |
| Détecteur |
Hamamatsu S7031 refroidi par TE à illumination arrière |
| Pixel effectif |
1024*122 |
| Taille des pixels |
24*24μm |
| Surface de détection |
24.576*2.928mm |
| Paramètres optiques |
| Conception optique |
Type croisé F/4 |
| Ouverture numérique |
0.13 |
| Distance focale |
100mm |
| Largeur de la fente d'entrée |
10μm,25μm,50μm,100μm,200μm (personnalisable) |
| Interface fibre |
SMA905, espace libre |
| Paramètres électriques |
| Temps d'intégration |
8ms-3600s |
| Interface de sortie de données |
USB3.0, RS232, RS485, connecteur 20 broches |
| Profondeur de bits ADC |
16 bits |
| Alimentation |
5V |
| Courant de fonctionnement |
<3.5A |
| Paramètres physiques |
| Température de fonctionnement |
10℃~40℃ |
| Température de stockage |
-20℃~60℃ |
| Humidité de fonctionnement |
<90%HR (sans condensation) |
| Dimensions |
180mm*120mm*50mm |
| Poids |
1.2kg |
Modèles disponibles
| Modèle |
Gamme spectrale(nm) |
Résolution(nm) |
Fente(μm) |
| SR100Q-G21 |
200~950 |
6.8 |
200 |
| SR100Q-G22 |
350~1100 |
2.2 |
50 |
| SR100Q-G23 |
200~775 |
1.6 |
50 |
| SR100Q-G24 |
350~925 |
1.0 |
25 |
| SR100Q-G25 |
532~690(4400cm-1*) |
13cm-1 |
50 |
| SR100Q-G26 |
638~800(3200cm-1*) |
10cm-1 |
25 |
| SR100Q-G27 |
785~1050(3200cm-1*) |
11cm-1 |
50 |
Remarque : Les modèles marqués d'un * sont principalement conçus pour les applications Raman.
Avantages techniques
- Haute efficacité quantique : 92% de pic @650nm, 83% @232nm
- Rapport signal/bruit supérieur : Bruit sombre ultra-faible avec un SNR allant jusqu'à 1000:1
- Traitement clair des signaux faibles lors d'une longue exposition avec une forte adaptation environnementale
- Circuits à faible bruit et à grande vitesse avec interface USB3.0
Méthodologie de mesure
Lorsque la lumière de la sonde à fibre optique interagit avec le film, des réflexions doubles se produisent à la fois à la surface air-film et à l'interface film-substrat. Les motifs d'interférence résultants produisent des franges spectrales détectées par le spectromètre. La différence de chemin optique permet une détermination précise de l'épaisseur en utilisant la méthode de l'extremum, avec des entrées comprenant θ, n et les pics spectraux. Les films plus épais présentent un espacement des franges plus serré, tandis que les longueurs d'onde plus longues créent un espacement plus large. La précision de la mesure est optimisée grâce à des paramètres de longueur d'onde et de résolution appropriés.
Applications industrielles
- Analyse du spectre d'absorption, de transmission et de réflexion
- Caractérisation de la source lumineuse et de la longueur d'onde laser
- Modules OEM pour la spectroscopie de fluorescence et Raman
À propos de la société JINSP
JINSP Company Limited ("JINSP") est spécialisée dans la technologie de détection spectrale avec plus de 17 ans d'expérience dans les technologies Raman, FT-IR et LIBS. Nos technologies de base ont atteint un leadership international avec plus de 200 demandes de brevets.
Basée à Pékin avec une usine de fabrication à Jiangsu, en Chine, JINSP est titulaire des certifications ISO9001:2015, ISO14001:2015 et ISO45001:2018. Nous fournissons des certifications complètes, notamment l'approbation du ministère de la Sécurité publique, la certification de l'Institut national de métrologie, la certification de niveau environnemental, la classification IP, la certification CE et la certification UE ECAC.
Foire aux questions
Q : Ce spectromètre est-il facile à utiliser pour les nouveaux utilisateurs ?
R : Nous fournissons des manuels en anglais complets et des vidéos d'instructions, ainsi qu'un support technique professionnel de nos ingénieurs.
Q : Proposez-vous une formation des opérateurs ?
R : Nous proposons une formation sur site dans nos locaux et une assistance sur le terrain, notamment l'installation, la formation, le débogage et la maintenance à votre emplacement.
Q : Quelles mesures d'assurance qualité avez-vous ?
R : Notre équipe qualité dédiée effectue des inspections approfondies avant l'expédition, avec une documentation et des preuves photographiques disponibles sur demande.
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